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    首頁薄膜生長設備旋轉涂膜機,勻膠機 > VTC-200-4P噴霧旋轉涂覆機,勻膠機
    • 產品名稱: VTC-200-4P噴霧旋轉涂覆機,勻膠機
    • 上架時間: 2019-01-14
    • 產品編號: 03010007
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    產品簡介:VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater主要用于半導體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機,在勻膠或顯影過程結束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續蒸發到含量最低。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上,使溶液在樣片表面均勻分布,有利于薄膜和顯影過程的順利進行。本機電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源進行控制,電機調速系統則采用了抗干擾性高的PLC進行控制,轉數100-2000RPM范圍內可調。涂膜機在工作時設有兩個階段,在啟動前根據實際需要進行設置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂覆機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、顯影機、spin coater啟動快速、轉數穩定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對于樣件的固定,采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板,不僅樣件取放自如,而且操作簡便。此外,在安裝結構上,采取了減震措施,降低運轉時的噪音。

     

     

     

    產品型號

    VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂覆機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater

     

     

    安裝條件

    本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、水:設備配有進出水口

    2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。

    3、氣:不需要

    4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

    5、通風裝置:需要

    主要特點

    1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件,不僅樣件取放自如,而且操作簡便;橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據需要進行定制。

    2、該機上蓋具有紅外加熱功能,可以使溫度保持在一個穩定值。

    3、本機上蓋具有4組噴嘴,可使膠體以霧狀噴在樣片表面,使薄膜更均勻。

    4、電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源的方式,電機調速系統則采用了抗干擾性高的PLC進行控制,數值顯示更直觀可靠,轉數在100-2000RPM內可調。

    5、涂膜機在工作時設有兩個階段,在啟動前根據實際需要,可分別進行時間1、轉速1、時間2、轉速2的設置。設置完成啟動后,涂膜機先以轉速1在時間1時間內運轉,使涂膜物質逐漸分散開。當時間1時間結束時,涂膜機自動進入時間2時間階段運轉,使涂膜物質更加均勻。

    6、噴霧旋轉涂覆機啟動快速、轉數穩定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。

    7、在安裝結構上,采取了減震措施,降低運轉時的噪音。

    8、腔體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能;機身采用鑄鋁結構,結實耐用且質輕。

    技術參數

    1、電源:AC220/110V、50/60Hz

    2、電機功率:功率210W

    3、雙轉速涂膜功能:雙轉速及涂膜時間分別設置,在啟動后先低速運轉(滴涂膠液),然后自動轉換到高速運轉(勻膠)。轉速穩定(±1%),涂膜物質均勻。

    轉數1:100-2000 RPM有效

    時間1:1--200s有效

    轉數2:100-2000 RPM有效

    時間2:1--200s有效

    4、適用于Φ153mm樣件涂膜。

    5、上蓋加熱溫度范圍:0-100℃。

    6、環境溫度5-40℃,相對濕度不大于85%RH,設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體影響。

    規格尺寸

    主機外形尺寸500mm(長)×410mm(寬)×330mm(高),重量24Kg。

    標準配件

    1

    磁性鋼片模板(Ф160mm)

    1件

    2

    吸盤(Ф153mm)

    1件

    3

    溫控箱

    1臺

    4

    蠕動泵

    6臺

    可選配件

    橡膠吸盤

    橡膠吸盤

    磁力鋼片模板(可定制)

    磁力鋼片模板

     

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